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三立福新材料(福建)有限公司超纯微电子新材料和六氟磷酸锂项目 (一期工程)(20000吨年49%电子级氢氟酸(UP-SSS级)变更)安全评价
Date:2025/9/5 浏览人数:138

评价项目名称

三立福新材料(福建)有限公司超纯微电子新材料和六氟磷酸锂项目

(一期工程)(20000吨年49%电子级氢氟酸(UP-SSS级)变更)安全评价报告

评价项目简介

1、周边环境:该公司西侧为园区道路(岩康路),隔园区道路为福建中州新材料科技有限公司规划用地(危险化学品办证企业);东北侧为园区道路(岩福路),隔园区道路为福建台氟化工科技有限公司规划用地(危险化学品办证企业)和福建三化元福新材料有限公司(已投产)(危险化学品办证企业);东侧为三立福新材料(福建)有限公司二期规划用地(原为安美医药(福建)有限公司用地),隔三立福二期规划用地为福建悦淳新材料科技有限公司规划用地(危险化学品办证企业);南侧为三明桑德水务有限公司规划用地(园区污水处理厂);西南侧隔园区道路(岩康路)为园区危险化学品停车场规划用地(属于空载停车场,无重车)。

2、储存设施:本项目涉及到的原辅材料包含有氟化氢[无水](原料、工业级)、49%电子级氢氟酸(产品、UP-SSS级)、氢氟酸(30~49%、副产品、EL级)、31%过氧化氢溶液(辅料)、高锰酸钾(辅料)、氢氧化钠(尾气吸收)。其中氟化氢[无水](原料、工业级)、31%过氧化氢溶液(辅料)、高锰酸钾(辅料)、氢氧化钠(尾气吸收)等储存方式均与原设计相同。49%电子级氢氟酸(产品、UP-SSS级)储存在氢氟酸成品罐组内,设有3个200m³49%电子级氢氟酸(UP-SSS级)成品储罐(2用1备),氢氟酸(30~49%、副产品、EL级)储存在乙类车间2个50m3EL级氢氟酸成品储罐(1用1备),均属于本次新增储存设施。

3、生产设施及许可品种:三立福新材料(福建)有限公司厂址位于三明吉口循环经济产业园。该公司设计产能为97%电子级硫酸5000t/a、36%电子级盐酸5000t/a、68%电子级硝酸30000t/a、49%电子级氢氟酸(UP级)20000t/a、49%电子级氢氟酸(UP-SSS级)20000t/a、31%电子级双氧水25000t/a、27%电子级氨水2000t/a、40%电子级氟化铵6000t/a、电子级混酸蚀刻液1000t/a、电子级硅蚀刻液2000t/a、电子级铝蚀刻液3000t/a、2.38%电子级四甲基氢氧化铵1000t/a、电子级氢氧化钠溶液(浓度40~45%)1000t/a、电子级氢氧化钾溶液(浓度40~45%)1000t/a、光刻胶1000t/a、剥离液2000t/a、六氟磷酸锂5000t/a。其中36%电子级盐酸3000   t/a、68%电子级硝酸10000t/a、49%电子级氢氟酸(UP级)20000t/a、31%电子级双氧水25000t/a等已通过验收,取得安全生产许可证,证书编号为(闽)WH安许证[2023]8号,有效期2023年6月12日至2026年6月11日。其它生产装置均未验收。

4、工艺简介:原设计电子氢氟酸生产线规模为40000t/a,其中UP级氢氟酸20000t/a,UP-SSS级氢氟酸20000t/a,共两条生产线,原设计共用1套原料储罐及尾气处理设备,由于UP-SSS级氢氟酸设备除杂工艺由原来设计的氟氮混合气变更为高锰酸钾除杂,工艺流程有所变更,变更前原料贮存及废气处理设施共用,变更后为原料贮存共用,每条生产线配备2套设备,产能保持不变,现将UP-SSS级氢氟酸现有产能进行分析如下:

生产原理描述:原料无水氟化氢送至高位槽后,经粗过滤去除夹杂再由塔节上方入料进入精馏塔,经过精馏分离去除无水氟化氢中的高、低不同沸点不纯物,并经精馏塔串联操作,以达到符合国际标准的质量,蒸发器设备采用不锈钢衬聚四氟乙烯/合金碳化硅共聚物材料,生产工艺采用常压、全封闭、连续化,采用热水低温(小于100℃)精馏,精馏得到的氟化氢气体经冷却后,进入有高纯水的循环罐中用超纯水吸收稀释,并控制氟化氢入料量达到所需要的浓度含量,随后经0.05um以下超滤工序,最后在密闭洁净环境条件下进行灌装得到最终产品高纯氢氟酸。

5、从业人员:从业人员数72人。

6、行业风险:火灾、其他爆炸、中毒和窒息、灼烫、容器爆炸、触电、物体打击、机械伤害、车辆伤害、高处坠落、淹溺、噪声危害、光环境不良、粉尘危害、高温危害、腐蚀危害等。  

7、危险化学品重大危险源:本项目甲类仓库、乙类车间和氢氟酸成品罐组均构成危险化学品重大危险源。经分级,本项目乙类车间构成生产单元一级重大危险源,氢氟酸成品罐组构成储存单元三级重大危险源。乙类车间和甲类仓库的重大危险源等级与原设计相同,氢氟酸成品罐组属于新增重大危险源。

安全评价项目参与人员

评价项目组长

陈昭智

报告编制人

陈昭智、牛广慧、白冬真、陈德凯、邓丽娟

报告审核人

肖方淡

技术负责人

陈金洪

过程控制

负责人

宋俊

技术专家

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安全评价项目现场开展工作情况

到现场开展评价活动的人员

陈昭智、陈德凯、牛广慧、邓丽娟

到现场开展评价

活动的时间

2024年4月22日

到现场开展评价活动的照片

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评价结论

三立福新材料(福建)有限公司超纯微电子新材料和六氟磷酸锂项目(20000t/a49%电子级氢氟酸(UP-SSS级)设计变更)在落实本评价报告提出的各项安全对策和措施后,在安全生产方面是可行的。

评价报告提交时间

2024.6.17


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